Short description of important scientific result: Studying low temperature plasma with a high frequency power supply in capacitive discharges. The result of this studying has applied to single crystals for polishing.
The roughness of the single crystals was less than 100 nm.
Для улучшения работы сайта и его взаимодействия с пользователями мы используем файлы cookie.
Продолжая работу с сайтом,
Вы разрешаете использование cookie-файлов. Вы всегда можете отключить файлы cookie в настройках Вашего
браузера.