Регистрация\НТП-2019 - Казанский (Приволжский) федеральный университет

Русский| English

Регистрация

Информация:

ФИО *

Галка Александр Георгиевич

Организация *

Институт прикладной физики РАН

Ученая степень *

Канд.физ.-мат.наук

Страна *

Россия

Город *

Нижний Новгород

Информация о докладах:

Авторы доклада *

А.Г. Галка, Д.В. Янин, А.В. Костров

Название доклада *

МАЛОГАБАРИТНЫЙ ДАТЧИК КОНЦЕНТРАЦИИ ПЛАЗМЫ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА

Редактировать

* - отмечены поля обязательные для заполнения

$ПОРТАЛ КФУ \ Образование \ Институт искусственного интеллекта, робототехники и системной инженерии$