Регистрация\НТП-2019 - Казанский (Приволжский) федеральный университет
  Русский | English
Full name *
Галка Александр Георгиевич
Organization *
Институт прикладной физики РАН
Scientific degree *
Канд.физ.-мат.наук
Country *
Россия
City *
Нижний Новгород
Authors of report *
А.Г. Галка, Д.В. Янин, А.В. Костров
Title of the report *
МАЛОГАБАРИТНЫЙ ДАТЧИК КОНЦЕНТРАЦИИ ПЛАЗМЫ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА
Update
* - fields that couldn't be empty