Регистрация\НТП-2021 - Казанский (Приволжский) федеральный университет

Русский| English

Регистрация

Информация:

ФИО *

Кесслер Илария Олеговна

Организация *

Южный федеральный университет

Страна *

Россия

Город *

Таганрог

Информация о докладах:

Авторы доклада *

И.О. Кесслер, В.В. Нифталиева, Ю.В. Морозова, В.С. Климин

Название доклада *

Микропрофилирование кремниевых подложек методом плазмохимического травления и фокусированным ионным пучком

Редактировать

* - отмечены поля обязательные для заполнения

$ПОРТАЛ КФУ \ Образование \ Институт искусственного интеллекта, робототехники и системной инженерии$