Регистрация\НТП-2019 - Казанский (Приволжский) федеральный университет

Главная \ Образование \ Институт искусственного интеллекта, робототехники и системной инженерии \ Наука \ Научно-организационные мероприятия \ Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий \ НТП-2019 \ Регистрация

Русский| English

Регистрация

Информация:

ФИО *

Варакин Виктор Михайлович

Организация *

АО НИИТМ

Ученая степень *

без ученой степени

Страна *

Россия

Город *

Москва,Зеленоград

Информация о докладах:

Авторы доклада *

В.М. Долгополов, В.В. Одиноков, П.А. Иракин, В.М. Варакин, С.В. Моргун.

Название доклада *

Исследование технологии и разработка оборудования для низкотемпературного плазмохимического осаждения диэлектрических слоев с источником высокоплотной плазмы ICPCVD на пластины диаметром до 300 мм.

Загрузка файлов доклада будет доступна после заполнения поля "Название доклада"

Редактировать

* - отмечены поля обязательные для заполнения

$ПОРТАЛ КФУ \ Образование \ Институт искусственного интеллекта, робототехники и системной инженерии$