Регистрация\НТП-2018 - Казанский (Приволжский) федеральный университет

Русский| English

Регистрация

Информация:

ФИО *

Щукин Виктор Геннадьевич

Организация *

Институт Теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН

Ученая степень *

без степени

Страна *

Российская Федерация

Город *

Новосибирск

Информация о докладах:

Авторы доклада *

В.Г. Щукин, В.О. Константинов, Р.Г. Шарафутдинов

Название доклада *

Измерение скорости осаждения тонких пленок кремния и концентрации вторичных электронов в электронно-пучковой плазме

Редактировать

* - отмечены поля обязательные для заполнения

$ПОРТАЛ КФУ \ Образование \ Институт искусственного интеллекта, робототехники и системной инженерии$