Регистрация\НТП-2021 - Казанский (Приволжский) федеральный университет
  Русский | English
Full name *
Кесслер Илария Олеговна
Organization *
Южный федеральный университет
Country *
Россия
City *
Таганрог
Authors of report *
И.О. Кесслер, В.В. Нифталиева, Ю.В. Морозова, В.С. Климин
Title of the report *
Микропрофилирование кремниевых подложек методом плазмохимического травления и фокусированным ионным пучком
Update
* - fields that couldn't be empty