Регистрация\НТП-2019 - Казанский (Приволжский) федеральный университет

Главная \ Образование \ Институт искусственного интеллекта, робототехники и системной инженерии \ Наука \ Научно-организационные мероприятия \ Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий \ НТП-2019 \ Регистрация

Русский | English

Регистрация

Information:

Full name *

Варакин Виктор Михайлович

Organization *

АО НИИТМ

Scientific degree *

без ученой степени

Country *

Россия

City *

Москва,Зеленоград

Information about reports:

Authors of report *

В.М. Долгополов, В.В. Одиноков, П.А. Иракин, В.М. Варакин, С.В. Моргун.

Title of the report *

Исследование технологии и разработка оборудования для низкотемпературного плазмохимического осаждения диэлектрических слоев с источником высокоплотной плазмы ICPCVD на пластины диаметром до 300 мм.

Загрузка файлов доклада будет доступна после заполнения поля "Название доклада"

Update

* - fields that couldn't be empty

$ПОРТАЛ КФУ \ Образование \ Институт искусственного интеллекта, робототехники и системной инженерии$