Регистрация\НТП-2018 - Казанский (Приволжский) федеральный университет
  Русский | English
Full name *
Щукин Виктор Геннадьевич
Organization *
Институт Теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН
Scientific degree *
без степени
Country *
Российская Федерация
City *
Новосибирск
Authors of report *
В.Г. Щукин, В.О. Константинов, Р.Г. Шарафутдинов
Title of the report *
Измерение скорости осаждения тонких пленок кремния и концентрации вторичных электронов в электронно-пучковой плазме
Update
* - fields that couldn't be empty