Самосогласованная модель динамики высокочастотной плазмы пониженного давления

Разработана и исследована математическая модель плазмы высокочастотного индукционного (ВЧИ) разряда пониженного давления, описывающая двумерное распределение характеристик разряда в потоке частично ионизированного газа в самосогласованной постановке, устанавливающей взаимосвязь внутренних пара

Zheltukhin V.S., Shemakhin A.Yu., Samsonova E.S., Terentev T.N. Modeling the dependence of the electron density on the gas flow rate in the induction plasma of argon

A mathematical model of an inductively coupled radio-frequency discharge at low pressure as nonlinear partial eigenproblem

Shemakhin A.Yu., Zheltukhin V.S., Samsonova E.S., Terentev T.N. Investigation of low-pressure ICRF discharge in a self-consistent formulation

САМОСОГЛАСОВАННАЯ ОДНОМЕРНАЯ МОДЕЛЬ ИНДУКЦИОННО-СВЯЗАННОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

Experimental installation for study the low-power ICRF plasma at low pressures with equipment for experiment data synchronization

An installation for numerical and experimental studies of low-pressure RF plasma for surface modification of functional materials with equipment for data synchronization are presented. The equipment for data synchronization as well as intermediate results for plasma generation are showed

САМОСОГЛАСОВАННАЯ МОДЕЛЬ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

Self-consistent model of under pressure HF induction discharge

Условия поддержания ВЧИ разряда как решение самосогласованной модели