Изучение низкотемпературной плазмы с высокой частотой питания в емкостных разрядах. Результат этого изучения был применен к монокристаллам для полирования.
Шероховатость монокристаллов составляла менее 100 нм.
Для улучшения работы сайта и его взаимодействия с пользователями мы используем файлы cookie.
Продолжая работу с сайтом,
Вы разрешаете использование cookie-файлов. Вы всегда можете отключить файлы cookie в настройках Вашего
браузера.