Самосогласованная модель динамики высокочастотной плазмы пониженного давления

Разработана и исследована математическая модель плазмы высокочастотного индукционного (ВЧИ) разряда пониженного давления, описывающая двумерное распределение характеристик разряда в потоке частично ионизированного газа в самосогласованной постановке, устанавливающей взаимосвязь внутренних пара

Shemakhin A.Yu. (KFU, Kazan, Russia), Zheltukhin V.S., Mathematical modeling of RF plasma flow at low pressures taking into account the charge on the sample

Zheltukhin V.S., Shemakhin A.Yu., Samsonova E.S., Terentev T.N. Modeling the dependence of the electron density on the gas flow rate in the induction plasma of argon

Mathematical modeling of plasma flow at low pressures in vacuum chamber with charge on body

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОТОКА ВЧ-ПЛАЗМЫ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ ПРИ НАЛИЧИИ МОДЕЛЬНОГО ОБРАЗЦА

A mathematical model of an inductively coupled radio-frequency discharge at low pressure as nonlinear partial eigenproblem

Shemakhin A.Yu., Zheltukhin V.S., Samsonova E.S., Terentev T.N. Investigation of low-pressure ICRF discharge in a self-consistent formulation

Nekrasov I.K., Mamed-Yusifov A.A., Akchurin A.D., Shemakhin A.Yu., Zheltukhin V.S., Experimental study of inductively coupled rf plasma in a wide frequency range

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЧ-ПЛАЗМЫ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ С ЗАРЯЖЕННЫМ ОБРАЗЦОМ

САМОСОГЛАСОВАННАЯ ОДНОМЕРНАЯ МОДЕЛЬ ИНДУКЦИОННО-СВЯЗАННОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

Математическое моделирование ВЧ-плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЫ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ С ЗАРЯЖЕННЫМ ОБРАЗЦОМ В ПОТОКЕ

Experimental installation for study the low-power ICRF plasma at low pressures with equipment for experiment data synchronization

An installation for numerical and experimental studies of low-pressure RF plasma for surface modification of functional materials with equipment for data synchronization are presented. The equipment for data synchronization as well as intermediate results for plasma generation are showed

САМОСОГЛАСОВАННАЯ МОДЕЛЬ ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

Self-consistent model of under pressure HF induction discharge

Mathematical modeling of RF plasma flow at low pressures in non-local estimation

Условия поддержания ВЧИ разряда как решение самосогласованной модели

SIMULATION OF LOW PRESSURE ICRF PLASMA FLOW IN NON-LOCAL APPROXIMATION

Математическое моделирование параметров ВЧИ-плазмы при пониженных давлениях

Математическое моделирование потока ВЧИ-плазмы пониженного давления с учетом влияния электромагнитного поля

3D-моделирование в системе OpenFOAM

3D-моделирование в системе OpenFOAM

3D-моделирование в системе OpenFOAM