KFU. Card publication. ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И ЕГО СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И ЕГО СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2014

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Tayurskiy Dmitriy Albertovich, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

V.V. Vorobev, Yu.N. Osin, M.A. Ermakov, V.I. Nuzhdin, V.F. Valeev, D.A. Tayurskiy, A.L. Stepanov, FORMIROVANIE PORISTOGO KREMNIYa PRI IONNOY IMPLANTACII I EGO STRUKTURNYY ANALIZ METODOM DIFRAKCII OTRAZhENNYKh ELEKTRONOV // Sbornik materialov konferencii molodykh uchenykh "Molozhdezh i innovacii Tatarstan", 13-14 noyabrya 2014 goda, Kazan.

Annotation

Сборник материалов конференции молодых ученых "Молождежь и инновации Татарстан"

Keywords

пористый кремний, ионная имплантация, дифракция отраженных электронов

The name of the journal

Сборник материалов конференции молодых ученых "Молождежь и инновации Татарстан"

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=90700&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Tayurskiy Dmitriy Albertovich	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2014-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2014	ru_RU
dc.identifier.citation	В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, М.А. Ермаков, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, Д.А. Таюрский, А.Л. Степанов, ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И ЕГО СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ // Сборник материалов конференции молодых ученых "Молождежь и инновации Татарстан", 13-14 ноября 2014 года, Казань.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=90700&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник материалов конференции молодых ученых "Молождежь и инновации Татарстан"	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	пористый кремний	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	дифракция отраженных электронов	ru_RU
dc.title	ФОРМИРОВАНИЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ И ЕГО СТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОМ ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU