KFU. Card publication. Спектральная эллипсометрия поверхности кремния,имплантированного ионами кобальта

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

СПЕКТРАЛЬНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ,ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ КОБАЛЬТА

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2013

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Bibliographic description in the original language

V. V. Bazarov, V. F. Valeev, V. I. Nuzhdin, Yu. N. Osin, A. L. Stepanov Spektralnaya ellipsometriya poverkhnosti kremniya, implantirovannogo ionami kobalta//Kazanskiy Fiziko-Tekhnicheskiy Institut im. E.K. Zavoyskogo. - 2013,

Keywords

ионная имплантация

The name of the journal

Казанский Физико-Технический Институт им. Е.К. Завойского. Ежегодник 2009.

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=84877&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2013	ru_RU
dc.identifier.citation	В. В. Базаров, В. Ф. Валеев, В. И. Нуждин, Ю. Н. Осин, А. Л. Степанов Спектральная эллипсометрия поверхности кремния, имплантированного ионами кобальта//Казанский Физико-Технический Институт им. Е.К. Завойского. - 2013,	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=84877&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Казанский Физико-Технический Институт им. Е.К. Завойского. Ежегодник 2009.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Спектральная эллипсометрия поверхности кремния,имплантированного ионами кобальта	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU