KFU. Card publication. Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

РЕАКТИВНОЕ МАГНЕТРОННОЕ НАНЕСЕНИЕ ШИРОКОПОЛОСНЫХ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2013

Authors, employees of KFU

Galyautdinov Rafael Tagirovich, author

Kashapov Nail Faikovich, author

Luchkin Aleksandr Grigorevich, author

Bibliographic description in the original language

Reaktivnoe magnetronnoe nanesenie shirokopolosnykh prosvetlyayushhikh pokrytiy. Vestnik KGTU im. A.N.Tupoleva. 2013.- № 4. - S.

Annotation

Исследованы вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда в процессе реактивного магнетронного распыления и проанализированы их зависимости от параметров разряда в диапазоне расходов рабочего и реакционных газов от 0,2 ? 1,0 мг/с. Получены широкополосные просветляющие покрытия на подложках из стекла с низким (менее 0,5 %) коэффициентом отражения в спектральном диапазоне 0,4 ? 0,7 мкм.

Keywords

Аномальный тлеющий разряд, магнетронное распыление, широкополосные просветляющие покрытия, вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=76672&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Galyautdinov Rafael Tagirovich	ru_RU
dc.contributor.author	Kashapov Nail Faikovich	ru_RU
dc.contributor.author	Luchkin Aleksandr Grigorevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2013-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2013	ru_RU
dc.identifier.citation	Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий. Вестник КГТУ им. А.Н.Туполева. 2013.- № 4. - С.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=76672&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Исследованы вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда в процессе реактивного магнетронного распыления и проанализированы их зависимости от параметров разряда в диапазоне расходов рабочего и реакционных газов от 0,2 ? 1,0 мг/с. Получены широкополосные просветляющие покрытия на подложках из стекла с низким (менее 0,5 %) коэффициентом отражения в спектральном диапазоне 0,4 ? 0,7 мкм.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Аномальный тлеющий разряд	ru_RU
dc.subject	магнетронное распыление	ru_RU
dc.subject	широкополосные просветляющие покрытия	ru_RU
dc.subject	вольт-амперные характеристики аномального тлеющего разряда	ru_RU
dc.title	Реактивное магнетронное нанесение широкополосных просветляющих покрытий	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU