KFU. Card publication. Реактивный магнетронный синтез и исследование структуры и оптических свойств тонкопленочного оксида вольфрама, легированного молибденом

- RUS
- 中文
- ES

РЕАКТИВНЫЙ МАГНЕТРОННЫЙ СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ОКСИДА ВОЛЬФРАМА, ЛЕГИРОВАННОГО МОЛИБДЕНОМ

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2024

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Salakhov Myakzyum Khalimulovich, author

Tagirov Lenar Rafgatovich, author

Other authors

Lyadov Nikolay Mikhaylovich, author

Authors, postgraduates KFU

Malikov Insaf Fanisovich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Reaktivnyy magnetronnyy sintez i issledovanie struktury i opticheskikh svoystv tonkoplenochnogo oksida volframa, legirovannogo molibdenom / I.F. Malikov, N.M. Lyadov, M.Kh. Salakhov, L.R. Tagirov // Zhurnal Tekhnicheskoy Fiziki. – 2024. – T.94, V.1. – S.71-79.

Annotation

Для получения электрохромного катодного материала, спектральное пропускание которого можно регулировать уровнем легирования, применено катионное легирование оксида вольфрама молибденом. Методом реактивного магнетронного ко-распыления металлических мишеней вольфрама и молибдена в смеси газов аргона и кислорода синтезирована серия тонкопленочных образцов. Их морфология, структура, элементный состав и валентные состояния составляющих элементов охарактеризованы методами сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Оптические свойства измерены с использованием спектрофотометрии пропускания и спектроскопической эллипсометрии. С повышением степени легирования полученные пленки приобретают серую окраску и становятся малопрозрачными. Эллипсометрические исследования показали, что при этом усиливается поглощение как в коротковолновой, так и в длинноволновой части видимого и прилежащих к нему частей спектра. В результате происходит взаимная компенсация цветового окрашивания, которая приводит к почти ахроматическому изменению оптического пропускания, улучшая, таким образом, потребительские качества электрохимического материала и устройств на основе оксида вольфрама.

Keywords

электрохромизм, триоксид вольфрама, легирование молибденом, оптическое пропускание, спектроскопическая эллипсометрия

The name of the journal

Журнал технической физики

URL

https://journals.ioffe.ru/articles/56904

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=306796&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
MalikovIF___ZhTF_2024.pdf	2,37	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Salakhov Myakzyum Khalimulovich	ru_RU
dc.contributor.author	Tagirov Lenar Rafgatovich	ru_RU
dc.contributor.author	Lyadov Nikolay Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Malikov Insaf Fanisovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2024-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2024-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2024	ru_RU
dc.identifier.citation	Реактивный магнетронный синтез и исследование структуры и оптических свойств тонкопленочного оксида вольфрама, легированного молибденом / И.Ф. Маликов, Н.М. Лядов, М.Х. Салахов, Л.Р. Тагиров // Журнал Технической Физики. – 2024. – Т.94, В.1. – С.71-79.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=306796&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Журнал технической физики	ru_RU
dc.description.abstract	Для получения электрохромного катодного материала, спектральное пропускание которого можно регулировать уровнем легирования, применено катионное легирование оксида вольфрама молибденом. Методом реактивного магнетронного ко-распыления металлических мишеней вольфрама и молибдена в смеси газов аргона и кислорода синтезирована серия тонкопленочных образцов. Их морфология, структура, элементный состав и валентные состояния составляющих элементов охарактеризованы методами сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Оптические свойства измерены с использованием спектрофотометрии пропускания и спектроскопической эллипсометрии. С повышением степени легирования полученные пленки приобретают серую окраску и становятся малопрозрачными. Эллипсометрические исследования показали, что при этом усиливается поглощение как в коротковолновой, так и в длинноволновой части видимого и прилежащих к нему частей спектра. В результате происходит взаимная компенсация цветового окрашивания, которая приводит к почти ахроматическому изменению оптического пропускания, улучшая, таким образом, потребительские качества электрохимического материала и устройств на основе оксида вольфрама.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	электрохромизм	ru_RU
dc.subject	триоксид вольфрама	ru_RU
dc.subject	легирование молибденом	ru_RU
dc.subject	оптическое пропускание	ru_RU
dc.subject	спектроскопическая эллипсометрия	ru_RU
dc.title	Реактивный магнетронный синтез и исследование структуры и оптических свойств тонкопленочного оксида вольфрама, легированного молибденом	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU