KFU. Card publication. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

МОДИФИКАЦИЯ НАНОСЛОЕВ В ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

Form of presentation

Russian monographs

Year of publication

2007

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Zheltukhin Viktor Semenovich, author

Sagbiev Ilgizar Raffakovich, author

Other authors

Abdullin Ildar Shaukatovich, author

Shaekhov Mars Faritovich, author

Bibliographic description in the original language

Abdullin I.Sh. Modifikaciya nanosloev v vysokochastotnoy plazme ponizhennogo davleniya: monografiya [Tekst] / I.Sh.Abdullin, V.S.Zheltukhin, I.R.Sagbiev, M.F.Shaekhov.- Kazan: Izd-vo Kazan. gos. tekhnol. un-ta, 2007.- 356 s. ISBN 978-5-7882-0553-3. Tirazh 1000 ekz.

Annotation

Приведены результаты теоретических и экспериментальных исследований влияния высокочастотной плазмы пониженного давления на поверхностные нанослои материалов различной природы

Keywords

Модификация поверхностного нанослоя, высокочастотная плазма пониженного давления

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=264694&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Zheltukhin Viktor Semenovich	ru_RU
dc.contributor.author	Sagbiev Ilgizar Raffakovich	ru_RU
dc.contributor.author	Abdullin Ildar Shaukatovich	ru_RU
dc.contributor.author	Shaekhov Mars Faritovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2007-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2007-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2007	ru_RU
dc.identifier.citation	Абдуллин И.Ш. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления: монография [Текст] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов.- Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2007.- 356 с. ISBN 978-5-7882-0553-3. Тираж 1000 экз.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=264694&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Приведены результаты теоретических и экспериментальных исследований влияния высокочастотной плазмы пониженного давления на поверхностные нанослои материалов различной природы	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Модификация поверхностного нанослоя	ru_RU
dc.subject	высокочастотная плазма пониженного давления	ru_RU
dc.title	Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления	ru_RU
dc.type	Russian monographs	ru_RU