KFU. Card publication. Математическое моделирование высокочастотной плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом в потоке

- RUS
- 中文
- ES

МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЫ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКОЙ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ С ЗАРЯЖЕННЫМ ОБРАЗЦОМ В ПОТОКЕ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2021

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Zheltukhin Viktor Semenovich, author

Shemakhin Aleksandr Yurevich, author

Bibliographic description in the original language

Matematicheskoe modelirovanie vysokochastotnoy plazmy ponizhennogo davleniya dlya cilindricheskoy vakuumnoy kamery s zaryazhennym obrazcom v potoke II Mezhdunarodnaya konferenciya «Gazorazryadnaya plazma i sintez nanostruktur» : sbornik trudov, (g. Kazan, 1-4 dekabrya 2021 g.) / pod red. B. A. Timerkaeva. - Kazan : Buk, 2021. - 388 s. (2021 g.) , S.37

Annotation

Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов,

Keywords

математическое моделирование, ВЧ-плазма, пониженное давление

The name of the journal

Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов,

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=260976&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Zheltukhin Viktor Semenovich	ru_RU
dc.contributor.author	Shemakhin Aleksandr Yurevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2021-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2021	ru_RU
dc.identifier.citation	Математическое моделирование высокочастотной плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом в потоке II Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов, (г. Казань, 1-4 декабря 2021 г.) / под ред. Б. А. Тимеркаева. - Казань : Бук, 2021. - 388 с. (2021 г.) , С.37	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=260976&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Международная конференция «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур» : сборник трудов,	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	математическое моделирование	ru_RU
dc.subject	ВЧ-плазма	ru_RU
dc.subject	пониженное давление	ru_RU
dc.title	Математическое моделирование высокочастотной плазмы пониженного давления для цилиндрической вакуумной камеры с заряженным образцом в потоке	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU