KFU. Card publication. Порообразование в тонких пленках германия при имплантации ионов Ge+

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ПОРООБРАЗОВАНИЕ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ ГЕРМАНИЯ ПРИ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ GE+

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2020

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Gumarov Amir Ildusovich, author

Tagirov Lenar Rafgatovich, author

Yanilkin Igor Vitalevich, author

Bibliographic description in the original language

Lyadov N.M. Poroobrazovanie v tonkikh plenkakh germaniya pri implantacii ionov Ge+ / N.M. Lyadov, T.P. Gavrilova, S.M. Khantimerov, V.V. Bazarov, N.M. Suleymanov, V.A. Shustov, V.I. Nuzhdin, I.V. Yanilkin, A.I. Gumarov, I.A. Fayzrakhmanov, L.R. Tagirov // Pisma v ZhTF. - 2020. - T.46, №14. - C. 33-35.

Annotation

Представлены результаты исследования морфологии наноструктурированных ионной имплантацией пленок германия. Образцы пленок были выращены с использованием метода магнетронного распыления на сверхвысоковакуумной установке и затем облучены ионами Ge+ с энергией 40 keV в интервале доз (1.8-8)? 1016 ion/cm2. Методом сканирующей электронной микроскопии установлено, что с увеличением дозы имплантации в объеме имплантированного германия постепенно формируются вакансионные комплексы диаметром ~ 50-150 nm, которые при достижении определенной дозы имплантации выходят на поверхность, образуя развитый рельеф облученных пленок. Ключевые слова: наноструктурированный германий, ионная имплантация, литий-ионные аккумуляторы.

Keywords

наноструктурированный германий, ионная имплантация, литий-ионные аккумуляторы

The name of the journal

Письма в Журнал технической физики

URL

http://journals.ioffe.ru/articles/49664

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=234427&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Gumarov Amir Ildusovich	ru_RU
dc.contributor.author	Tagirov Lenar Rafgatovich	ru_RU
dc.contributor.author	Yanilkin Igor Vitalevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2020	ru_RU
dc.identifier.citation	Лядов Н.М. Порообразование в тонких пленках германия при имплантации ионов Ge+ / Н.М. Лядов, Т.П. Гаврилова, С.М. Хантимеров, В.В. Базаров, Н.М. Сулейманов, В.А. Шустов, В.И. Нуждин, И.В. Янилкин, А.И. Гумаров, И.А. Файзрахманов, Л.Р. Тагиров // Письма в ЖТФ. - 2020. - T.46, №14. - C. 33-35.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=234427&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Письма в Журнал технической физики	ru_RU
dc.description.abstract	Представлены результаты исследования морфологии наноструктурированных ионной имплантацией пленок германия. Образцы пленок были выращены с использованием метода магнетронного распыления на сверхвысоковакуумной установке и затем облучены ионами Ge+ с энергией 40 keV в интервале доз (1.8-8)? 1016 ion/cm2. Методом сканирующей электронной микроскопии установлено, что с увеличением дозы имплантации в объеме имплантированного германия постепенно формируются вакансионные комплексы диаметром ~ 50-150 nm, которые при достижении определенной дозы имплантации выходят на поверхность, образуя развитый рельеф облученных пленок. Ключевые слова: наноструктурированный германий, ионная имплантация, литий-ионные аккумуляторы.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	наноструктурированный германий	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	литий-ионные аккумуляторы	ru_RU
dc.title	Порообразование в тонких пленках германия при имплантации ионов Ge+	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU