KFU. Card publication. Исследование морфологии поверхности и химического состава кремния, имплантированного ионами меди

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ И ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ МЕДИ

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2020

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Gumarov Amir Ildusovich, author

Rogov Aleksey Mikhaylovich, author

Tagirov Lenar Rafgatovich, author

Other authors

Stepanov Andrey Lvovich, author

Bibliographic description in the original language

Vorobev V.V. Issledovanie morfologii poverkhnosti i khimicheskogo sostava kremniya, implantirovannogo ionami medi / V.V. Vorobev, A.I. Gumarov, L.R. Tagirov, A.M. Rogov, V.I. Nuzhdin, A.L. Stepanov // ZhTF. - 2020. - T.90, №.10. - S. 1715-1723.

Annotation

Представлены результаты исследований структуры и химического состава поверхности монокристаллических подложек кремния c-Si, имплантированных ионами Cu+ с энергией 40 keV и дозами в диапазоне 3.1 ? 1015−1.25 ? 1017 ions/cm2 при плотности тока в ионном пучке 8 ?A/cm2. Методами сканирующей электронной и зондовой микроскопии в сочетании с рентгеновской фотоэлектронной и ожеэлектронной спектроскопии установлено, что на начальной стадии облучения ионами Cu+ до величины дозы 6.25 ? 1016 ions/cm2, в приповерхностном слое Si формируются металлические наночастицы Cu со средним размером 10 nm. При дальнейшем росте дозы имплантации, начиная со значения 1.25 ? 1017 ions/cm2 и выше, происходит зарождение η-фазы силицида меди — η-Cu3Si. Данное обстоятельство обусловлено разогревом приповерхностного слоя подложки Si во время ее облучения до температуры, способствующей фазообразованию η-Cu3Si.

Keywords

высокодозовая ионная имплантация, наночастицы меди, силицид меди

The name of the journal

Журнал технической физики

URL

http://journals.ioffe.ru/articles/49804

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=234196&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Gumarov Amir Ildusovich	ru_RU
dc.contributor.author	Rogov Aleksey Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Tagirov Lenar Rafgatovich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2020-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2020	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В. Исследование морфологии поверхности и химического состава кремния, имплантированного ионами меди / В.В. Воробьев, А.И. Гумаров, Л.Р. Тагиров, А.М. Рогов, В.И. Нуждин, А.Л. Степанов // ЖТФ. - 2020. - Т.90, №.10. - С. 1715-1723.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=234196&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Журнал технической физики	ru_RU
dc.description.abstract	Представлены результаты исследований структуры и химического состава поверхности монокристаллических подложек кремния c-Si, имплантированных ионами Cu+ с энергией 40 keV и дозами в диапазоне 3.1 ? 1015−1.25 ? 1017 ions/cm2 при плотности тока в ионном пучке 8 ?A/cm2. Методами сканирующей электронной и зондовой микроскопии в сочетании с рентгеновской фотоэлектронной и ожеэлектронной спектроскопии установлено, что на начальной стадии облучения ионами Cu+ до величины дозы 6.25 ? 1016 ions/cm2, в приповерхностном слое Si формируются металлические наночастицы Cu со средним размером 10 nm. При дальнейшем росте дозы имплантации, начиная со значения 1.25 ? 1017 ions/cm2 и выше, происходит зарождение η-фазы силицида меди — η-Cu3Si. Данное обстоятельство обусловлено разогревом приповерхностного слоя подложки Si во время ее облучения до температуры, способствующей фазообразованию η-Cu3Si.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	высокодозовая ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	наночастицы меди	ru_RU
dc.subject	силицид меди	ru_RU
dc.title	Исследование морфологии поверхности и химического состава кремния, имплантированного ионами меди	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU