KFU. Card publication. Влияние режимов осаждения на структуру и магнитно-фазовый состав тонких пленок, синтезированных по технологии ионно-стимулированного осаждения

- RUS
- 中文
- ES

ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СТРУКТУРУ И МАГНИТНО-ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ТОНКИХ ПЛЕНОК, СИНТЕЗИРОВАННЫХ ПО ТЕХНОЛОГИИ ИОННО-СТИМУЛИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2019

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Abdullin Radis Raisovich, author

Vagizov Farit Gabdulkhakovich, author

Gumarov Amir Ildusovich, author

Ibragimov Shamil Zarifovich, author

Kuzina Dilyara Mtygullovna, author

Lyadov Nikolay Mikhaylovich, author

Fayzrakhmanov Ildar Abdulkabirovich, author

Khaybullin Rustam Ildusovich, author

Other authors

Shustov Vladimir , author

Bibliographic description in the original language

Vliyanie rezhimov osazhdeniya na strukturu i magnitno-fazovyy sostav tonkikh plenok, sintezirovannykh po tekhnologii ionno-stimulirovannogo osazhdeniya / R.R. Abdullin [i dr.] // Nizkotemperaturnaya plazma v processe naneseniya funkcionalnykh pokrytiy. 2019. - T. 1, № 10. - S.238-241.

Annotation

Тонкие пленки 57Fe (50–300 нм) были синтезированы методом ионно-стимулированного осаждения (ИСО) на подложках из кварцевого стекла (SiO2) и монокристаллического NaCl со скоростью осаждения 3,2, 10 и 20 нм/мин. Методами сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионного элементного микроанализа, рентгеновской дифракции, мессбауэровской спектроскопии и вибрационной магнитометрии было исследовано влияние режимов осаждения пленок 57Fe на их структуру, магнитно-фазовый состав и перпендикулярную магнитную анизотропию (ПМА). Показано, что источником возникновения ПМА в пленках железа является оксидная фаза железа, которая приводит к возникновению микронапряжений. Максимальная величина микронапряжений наблюдается при низкой скорости осаждения (3,2 нм/мин). С увеличением скорости осаждения (до 20 нм/мин) величина микронапряжений и значение ПМА уменьшаются.

Keywords

ионно-стимулированное осаждение, пленки железа, перпендикулярная магнитная анизотропия, мессбауэровская спектроскопия,

The name of the journal

Низкотемпературная плазма в процессе нанесения функцио-нальных покрытий

On-line resource for training course

http://dspace.kpfu.ru/xmlui/bitstream/handle/net/158236/Vliyanie_rezhimov_osazhdeniya_na_strukturu_.pdf?sequence=1&isAllowed=y

URL

https://elibrary.ru/title_about.asp?id=50877

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=216084&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
Vliyanie_rezhimov_osazhdeniya_na_strukturu_.pdf	2,08	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Abdullin Radis Raisovich	ru_RU
dc.contributor.author	Vagizov Farit Gabdulkhakovich	ru_RU
dc.contributor.author	Gumarov Amir Ildusovich	ru_RU
dc.contributor.author	Ibragimov Shamil Zarifovich	ru_RU
dc.contributor.author	Kuzina Dilyara Mtygullovna	ru_RU
dc.contributor.author	Lyadov Nikolay Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Fayzrakhmanov Ildar Abdulkabirovich	ru_RU
dc.contributor.author	Khaybullin Rustam Ildusovich	ru_RU
dc.contributor.author	Shustov Vladimir	ru_RU
dc.date.accessioned	2019-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2019-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2019	ru_RU
dc.identifier.citation	Влияние режимов осаждения на структуру и магнитно-фазовый состав тонких пленок, синтезированных по технологии ионно-стимулированного осаждения / Р.Р. Абдуллин [и др.] // Низкотемпературная плазма в процессе нанесения функциональных покрытий. 2019. - Т. 1, № 10. - С.238-241.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=216084&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Низкотемпературная плазма в процессе нанесения функцио-нальных покрытий	ru_RU
dc.description.abstract	Тонкие пленки 57Fe (50–300 нм) были синтезированы методом ионно-стимулированного осаждения (ИСО) на подложках из кварцевого стекла (SiO2) и монокристаллического NaCl со скоростью осаждения 3,2, 10 и 20 нм/мин. Методами сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионного элементного микроанализа, рентгеновской дифракции, мессбауэровской спектроскопии и вибрационной магнитометрии было исследовано влияние режимов осаждения пленок 57Fe на их структуру, магнитно-фазовый состав и перпендикулярную магнитную анизотропию (ПМА). Показано, что источником возникновения ПМА в пленках железа является оксидная фаза железа, которая приводит к возникновению микронапряжений. Максимальная величина микронапряжений наблюдается при низкой скорости осаждения (3,2 нм/мин). С увеличением скорости осаждения (до 20 нм/мин) величина микронапряжений и значение ПМА уменьшаются.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ионно-стимулированное осаждение	ru_RU
dc.subject	пленки железа	ru_RU
dc.subject	перпендикулярная магнитная анизотропия	ru_RU
dc.subject	мессбауэровская спектроскопия	ru_RU
dc.subject		ru_RU
dc.title	Влияние режимов осаждения на структуру и магнитно-фазовый состав тонких пленок, синтезированных по технологии ионно-стимулированного осаждения	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU