KFU. Card publication. Микроскопия поверхности кремния, имплантированного ионами серебра высокими дозами

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

МИКРОСКОПИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ, ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ СЕРЕБРА ВЫСОКИМИ ДОЗАМИ

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2019

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Rogov Aleksey Mikhaylovich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Valeev V F, author

Ermakov M A, author

Nuzhdin V I, author

Tabachkova N Yu, author

Eydelman K B, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Vorobev V.V., Rogov A.M., Osin Yu.N., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Eydelman K.B., Tabachkova N.Yu., Ermakov M.A., Stepanov A.L., Mikroskopiya poverkhnosti kremniya, implantirovannogo ionami serebra vysokimi dozami // Zhurnal tekhnicheskoy fiziki, 2019, tom 89, vyp. 2, S 226-234, DOI: 10.21883/JTF.2019.02.47075.145-18

Annotation

Микроскопия поверхности кремния

Keywords

Микроскопия, поверхность кремния, ионы серебра

The name of the journal

Журнал технической физики

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=194910&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
Vorobev_Mikroskopiya_Si_2018.pdf	3,84	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Rogov Aleksey Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev V F	ru_RU
dc.contributor.author	Ermakov M A	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin V I	ru_RU
dc.contributor.author	Tabachkova N Yu	ru_RU
dc.contributor.author	Eydelman K B	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2019-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2019-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2019	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Эйдельман К.Б., Табачкова Н.Ю., Ермаков М.А., Степанов А.Л., Микроскопия поверхности кремния, имплантированного ионами серебра высокими дозами // Журнал технической физики, 2019, том 89, вып. 2, С 226-234, DOI: 10.21883/JTF.2019.02.47075.145-18	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=194910&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Журнал технической физики	ru_RU
dc.description.abstract	Микроскопия поверхности кремния	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Микроскопия	ru_RU
dc.subject	поверхность кремния	ru_RU
dc.subject	ионы серебра	ru_RU
dc.title	Микроскопия поверхности кремния, имплантированного ионами серебра высокими дозами	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU