KFU. Card publication. Распыление кремния при низкоэнергетической имплантации ионами серебра

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

РАСПЫЛЕНИЕ КРЕМНИЯ ПРИ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНАМИ СЕРЕБРА

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2018

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Rogov Aleksey Mikhaylovich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Valeev V F, author

Nuzhdin V I, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Vorobev V.V., Rogov A.M., Osin Yu.N., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Stepanov A.L., Raspylenie kremniya pri nizkoenergeticheskoy implantacii ionami serebra // Sbornik tezisov III mezhdunarodnoy shkoly-konferencii studentov, aspirantov i molodykh uchenykh «Materialy i tekhnologii XXI veka», – Kazan, 29-31 oktyabrya 2018, S. 217.

Annotation

Сборник тезисов III международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых ?Материалы и технологии XXI века?

Keywords

ионное распыление, толщина, наночастицы

The name of the journal

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=187552&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
Book_of_abstracts_MT21_2018.pdf	5,89	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Rogov Aleksey Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev V F	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin V I	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2018	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л., Распыление кремния при низкоэнергетической имплантации ионами серебра // Сборник тезисов III международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых «Материалы и технологии XXI века», – Казань, 29-31 октября 2018, С. 217.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=187552&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник тезисов III международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых ?Материалы и технологии XXI века?	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ионное распыление	ru_RU
dc.subject	толщина	ru_RU
dc.subject	наночастицы	ru_RU
dc.title	Распыление кремния при низкоэнергетической имплантации ионами серебра	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU