KFU. Card publication. Характеризация распыления поверхности кремния при имплантации ионами серебра методом сканирующей зондовой микроскопии

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ РАСПЫЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНАМИ СЕРЕБРА МЕТОДОМ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2018

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Rogov Aleksey Mikhaylovich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Valeev V F, author

Nuzhdin V I, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Vorobev V.V., Rogov A.M., Osin Yu.N., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Stepanov A.L., Kharakterizaciya raspyleniya poverkhnosti kremniya pri implantacii ionami serebra metodom skaniruyushhey zondovoy mikroskopii // Sbornik tezisov XXVII Rossiyskoy konferencii «Sovremennye metody elektronnoy i zondovoy mikroskopii v issledovaniyakh organicheskikh, neorganicheskikh nanostruktur i nano-biomaterialov» Tom № 2, – Chernogolovka, 28-30 avgusta 2018g. S 123-124.

Annotation

Сборник тезисов XXVII Российской конференции ?Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях органических, неорганических наноструктур и нано-биоматериалов? Том № 2

Keywords

ионная имплантация, кремний, ионы серебра

The name of the journal

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=184374&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
F_Step_2018_RCEM_Vorobev_Sputt_Ag_Si.pdf	0,45	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Rogov Aleksey Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev V F	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin V I	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2018-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2018	ru_RU
dc.identifier.citation	Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л., Характеризация распыления поверхности кремния при имплантации ионами серебра методом сканирующей зондовой микроскопии // Сборник тезисов XXVII Российской конференции «Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях органических, неорганических наноструктур и нано-биоматериалов» Том № 2, – Черноголовка, 28-30 августа 2018г. С 123-124.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=184374&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник тезисов XXVII Российской конференции ?Современные методы электронной и зондовой микроскопии в исследованиях органических, неорганических наноструктур и нано-биоматериалов? Том № 2	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	кремний	ru_RU
dc.subject	ионы серебра	ru_RU
dc.title	Характеризация распыления поверхности кремния при имплантации ионами серебра методом сканирующей зондовой микроскопии	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU