KFU. Card publication. Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

СПОСОБ ОБРАБОТКИ АЛЮМИНИЕВЫХ ПЛЕНОК НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ

Form of presentation

Russian patents

Year of publication

1979

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Sharifullin Said Nasibullovich, author

Other authors

Abdullin Ildar Shaukatovich, author

Dautov Gali Yunusovich, author

Samigullin Amir , author

Bibliographic description in the original language

Avt.svid.№660420 ot 8.01.1979. Sposob obrabotki alyuminievykh plenok na dielektricheskikh podlozhkakh /I.Sh. Abdullin, G.Yu. Dautov, A.A. Samigullin, S.N. Sharifullin //Byulleten izobreteniy, 1979. –№ 10.

Annotation

Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках плазменной струей низкого давления ВЧИ плазмы позволяет улучшить структуру пленок, удалить примеси, повысить диэлектрические показатели.

Keywords

алюминиевая пленка, обработка, безэлектродный плазмотрон. ВЧИ плазма, низкое давление, плазменная струя, подложка

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=172198&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Sharifullin Said Nasibullovich	ru_RU
dc.contributor.author	Abdullin Ildar Shaukatovich	ru_RU
dc.contributor.author	Dautov Gali Yunusovich	ru_RU
dc.contributor.author	Samigullin Amir	ru_RU
dc.date.accessioned	1979-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	1979-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	1979	ru_RU
dc.identifier.citation	Авт.свид.№660420 от 8.01.1979. Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках /И.Ш. Абдуллин, Г.Ю. Даутов, А.А. Самигуллин, С.Н. Шарифуллин //Бюллетень изобретений, 1979. –№ 10.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=172198&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках плазменной струей низкого давления ВЧИ плазмы позволяет улучшить структуру пленок, удалить примеси, повысить диэлектрические показатели.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	алюминиевая пленка	ru_RU
dc.subject	обработка	ru_RU
dc.subject	безэлектродный плазмотрон. ВЧИ плазма	ru_RU
dc.subject	низкое давление	ru_RU
dc.subject	плазменная струя	ru_RU
dc.subject	подложка	ru_RU
dc.title	Способ обработки алюминиевых пленок на диэлектрических подложках	ru_RU
dc.type	Russian patents	ru_RU