KFU. Card publication. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых и германиевых слоев, имплантированных ионами серебра

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ КРЕМНИЕВЫХ И ГЕРМАНИЕВЫХ СЛОЕВ, ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ИОНАМИ СЕРЕБРА

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2017

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Rogov Aleksey Mikhaylovich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Bibliographic description in the original language

Rogov A.M. Skaniruyushhaya zondovaya mikroskopiya kremnievykh i germanievykh sloev, implantirovannykh ionami serebra / A.M.Rogov, V.V. Vorobev, Yu.N. Osin, V.I. Nuzhdin, V.F. Valeev, A.L. Stepanov // Tezisy konferencii Fizika Spb 2017. - 2017. - S. 56-57

Annotation

Тезисы конференции Физика Спб 2017

Keywords

микроскопия, пористые материалы, ионная имплантация, полупроводники

The name of the journal

Тезисы конференции Физика Спб 2017

URL

http://physica.spb.ru/data/uploads/physica2017thesises.html

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=167437&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Rogov Aleksey Mikhaylovich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Рогов А.М. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых и германиевых слоев, имплантированных ионами серебра / А.М.Рогов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, А.Л. Степанов // Тезисы конференции Физика Спб 2017. - 2017. - С. 56-57	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=167437&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Тезисы конференции Физика Спб 2017	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	микроскопия	ru_RU
dc.subject	пористые материалы	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	полупроводники	ru_RU
dc.title	Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых и германиевых слоев, имплантированных ионами серебра	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU