KFU. Card publication. Создание напряженных и сильно легированных слоев n+-Ge:Sb с использованием мощных лазерных и ионных пучков

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

СОЗДАНИЕ НАПРЯЖЕННЫХ И СИЛЬНО ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЕВ N+-GE:SB С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МОЩНЫХ ЛАЗЕРНЫХ И ИОННЫХ ПУЧКОВ

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2017

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Other authors

Batalov R I, author

Bayazitov R M, author

Ivlev G D, author

Novikov G A, author

Fayzrakhmanov I A, author

Shustov V A, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

R.I. Batalov, R.M. Bayazitov, G.A. Novikov, I.A. Fayzrakhmanov, V.A. Shustov, V.V. Vorobev, Yu.N. Osin, G.D. Ivlev. Sozdanie napryazhennykh i silno legirovannykh sloev n+-Ge:Sb s ispolzovaniem moshhnykh lazernykh i ionnykh puchkov // Tezisy Rossiyskoy konferencii i Shkoly molodykh uchenykh po aktualnym problemam poluprovodnikovoy fotoelektroniki «Fotonika-2017», Novosibirsk, 11-15.09.2017, S. 61.

Annotation

Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники ?Фотоника-2017?

Keywords

легированные слои, ионный отжиг, лазерный отжиг

The name of the journal

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=166612&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
F_Sbornik_tezisov_FOTONIKA_2017.pdf	5,84	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Batalov R I	ru_RU
dc.contributor.author	Bayazitov R M	ru_RU
dc.contributor.author	Ivlev G D	ru_RU
dc.contributor.author	Novikov G A	ru_RU
dc.contributor.author	Fayzrakhmanov I A	ru_RU
dc.contributor.author	Shustov V A	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2017-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2017	ru_RU
dc.identifier.citation	Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Г.А. Новиков, И.А. Файзрахманов, В.А. Шустов, В.В. Воробьев, Ю.Н. Осин, Г.Д. Ивлев. Создание напряженных и сильно легированных слоев n+-Ge:Sb с использованием мощных лазерных и ионных пучков // Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники «Фотоника-2017», Новосибирск, 11-15.09.2017, С. 61.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=166612&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Тезисы Российской конференции и Школы молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники ?Фотоника-2017?	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	легированные слои	ru_RU
dc.subject	ионный отжиг	ru_RU
dc.subject	лазерный отжиг	ru_RU
dc.title	Создание напряженных и сильно легированных слоев n+-Ge:Sb с использованием мощных лазерных и ионных пучков	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU