KFU. Card publication. Управление процессом обработки поверхности ионным источником на основе тлеющего разряда в поперечном сверхзвуковом потоке газа

- RUS
- 中文
- ES

УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИОННЫМ ИСТОЧНИКОМ НА ОСНОВЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В ПОПЕРЕЧНОМ СВЕРХЗВУКОВОМ ПОТОКЕ ГАЗА

Form of presentation

Conference proceedings in Russian journals and collections

Year of publication

2016

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Israfilov Danis Irekovich, author

Bibliographic description in the original language

Israfilov D.I. Upravlenie processom obrabotki poverkhnosti ionnym istochnikom na osnove tleyushhego razryada v poperechnom sverkhzvukovom potoke gaza / D. I. Israfilov // Innovacionnye mashinostroitelnye tekhnologii, oborudovanie i materialy - 2016 (MNTK «IMTOM-2016«) Materialy Mezhdunarodnoy nauchno-tekhnicheskoy konferencii. 2016. S. 75-79.

Annotation

Инновационные машиностроительные технологии, оборудование и материалы - 2016

Keywords

система управления, тлеющий разряд

The name of the journal

Инновационные машиностроительные технологии, оборудование и материалы - 2016

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=162857&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Israfilov Danis Irekovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Исрафилов Д.И. Управление процессом обработки поверхности ионным источником на основе тлеющего разряда в поперечном сверхзвуковом потоке газа / Д. И. Исрафилов // Инновационные машиностроительные технологии, оборудование и материалы - 2016 (МНТК «ИМТОМ-2016«) Материалы Международной научно-технической конференции. 2016. С. 75-79.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=162857&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Инновационные машиностроительные технологии, оборудование и материалы - 2016	ru_RU
dc.description.abstract	Обработка поверхностей тлеющим разрядом в поперечном потоке газа дает ряд преимуществ перед магнетронным разрядом. Распыление мишени при более низких давлениях, что повышает чистоту нанесенного материал. Также более равномерная эрозия мишени и толщина нанесенного покрытия. Однако необходимо разработать систему управления тлеющим разрядом в поперечном потоке рабочего газа, что позволит получать изделия с заданными характеристиками	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	система управления	ru_RU
dc.subject	тлеющий разряд	ru_RU
dc.title	Управление процессом обработки поверхности ионным источником на основе тлеющего разряда в поперечном сверхзвуковом потоке газа	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in Russian journals and collections	ru_RU