Kazan (Volga region) Federal University, KFU
KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY
 
RSS Ins Вконтакте twitter facebook
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ НА СТРУКТУРНЫЕ И ПЛАЗМОННЫЕ СВОЙСТВА НИТРИДА ТИТАНА
Form of presentationConference proceedings in Russian journals and collections
Year of publication2017
Языкрусский
  • Vakhitov Iskander Rashidovich, author
  • Gumarov Amir Ildusovich, author
  • Nikitin Sergey Ivanovich, author
  • Salakhov Myakzyum Khalimulovich, author
  • Tagirov Lenar Rafgatovich, author
  • Kharincev Sergey Sergeevich, author
  • Yusupov Roman Valerevich, author
  • Yanilkin Igor Vitalevich, author
  • Kharitonov Anton Viktorovich, postgraduate kfu
  • Bibliographic description in the original language Issledovanie vliyaniya rezhimov magnetronnogo napyleniya na strukturnye i plazmonnye svoystva nitrida titana / A.V. Kharitonov [i dr.] // VIII vserossiyskaya (s mezhdunarodnym uchastiem) nauchno-tekhnicheskaya konferenciya;Nizkotemperaturnaya plazma v processakh naneseniya funkcionalnykh pokrytiy : sbornik statey. - Kazan, 2016. - S. 78-83.
    Annotation Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий
    Keywords магнетронное распыление, нитрид титана, плазмонный резонанс, микроскопия комбинационного рассеяния света, тонкие пленки
    The name of the journal Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий
    Please use this ID to quote from or refer to the card https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=152367&p_lang=2

    Full metadata record