KFU. Card publication. Влияние режимов имплантации ионов серебра на структуру и оптические свойства нанокристаллических пленок оксида цинка

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ВЛИЯНИЕ РЕЖИМОВ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ СЕРЕБРА НА СТРУКТУРУ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2016

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Gumarov Amir Ildusovich, author

Bibliographic description in the original language

Lyadov, N.M. Vliyanie rezhimov implantacii ionov serebra na strukturu i opticheskie svoystva nanokristallicheskikh plenok oksida cinka/N.M. Lyadov, A.I. Gumarov, V.F. Valeev i dr. // ZhTF. - 2016. - T.86, Vyp.8. -S.118-124

Annotation

Тонкие, толщиной 270 nm, нанокристаллические пленки оксида цинка (ZnO) были получены на кварцевых подложках методом ионного распыления и затем подвергнуты облучению ионами Ag+ с энергией 30 keV с высокими дозами при трех значениях плотности ионного тока: 4, 8 и 12 μA/cm2. Методами рентге- ноструктурного анализа, сканирующей электронной микроскопии и оптической спектроскопии исследовано влияние дозы облучения и плотности ионного тока на модификацию структуры и оптических свойств пленок ZnO. Обнаружено нетривиальное поведение структурных и оптических параметров пленок от режимов ионного облучения, что связано с радиационным нагревом и распылением пленки под действием ионного пучка, процессами диффузии примеси и формирования наночастиц серебра в облученном слое при высоких дозах имплантации, а также диффузией имплантированной примеси при повышенных плотностях ионного тока.

Keywords

ионы серебра, ионная имплантация, оксид цинка, тонкие пленки

The name of the journal

Журнал технической физики

URL

http://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/43467

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=137997&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Gumarov Amir Ildusovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2016-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2016	ru_RU
dc.identifier.citation	Лядов, Н.М. Влияние режимов имплантации ионов серебра на структуру и оптические свойства нанокристаллических пленок оксида цинка/Н.М. Лядов, А.И. Гумаров, В.Ф. Валеев и др. // ЖТФ. - 2016. - Т.86, Вып.8. -С.118-124	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=137997&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Журнал технической физики	ru_RU
dc.description.abstract	Тонкие, толщиной 270 nm, нанокристаллические пленки оксида цинка (ZnO) были получены на кварцевых подложках методом ионного распыления и затем подвергнуты облучению ионами Ag+ с энергией 30 keV с высокими дозами при трех значениях плотности ионного тока: 4, 8 и 12 μA/cm2. Методами рентге- ноструктурного анализа, сканирующей электронной микроскопии и оптической спектроскопии исследовано влияние дозы облучения и плотности ионного тока на модификацию структуры и оптических свойств пленок ZnO. Обнаружено нетривиальное поведение структурных и оптических параметров пленок от режимов ионного облучения, что связано с радиационным нагревом и распылением пленки под действием ионного пучка, процессами диффузии примеси и формирования наночастиц серебра в облученном слое при высоких дозах имплантации, а также диффузией имплантированной примеси при повышенных плотностях ионного тока.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	ионы серебра	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация	ru_RU
dc.subject	оксид цинка	ru_RU
dc.subject	тонкие пленки	ru_RU
dc.title	Влияние режимов имплантации ионов серебра на структуру и оптические свойства нанокристаллических пленок оксида цинка	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU