KFU. Card publication. Сравнительные наблюдения методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра

- RUS
- 中文
- ES

СРАВНИТЕЛЬНЫЕ НАБЛЮДЕНИЯ МЕТОДАМИ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ И ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ, ОБЛУЧЕННОГО НИЗКИМИ ДОЗАМИ ИОНОВ СЕРЕБРА

Form of presentation

Conference proceedings in international journals and collections

Year of publication

2015

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, author

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Bazarov Valeriy Vyacheslavovich, author

Valeev V F, author

Nuzhdin Vladimir Ivanovich, author

Authors, postgraduates KFU

Vorobev Vyacheslav Valerevich, postgraduate kfu

Bibliographic description in the original language

Bazarov V.V. Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Vorobev V.V., Osin Yu.N., Stepanov A.L. Sravnitelnye nablyudeniya metodami spektralnoy ellipsometrii i difrakcii otrazhennykh elektronov amorfnogo kremniya, obluchennogo nizkimi dozami ionov serebra// Sbornik trudov 11-oy mezhdunarodnoy konferencii «Vzaimodeystvie izlucheniy s tverdym telom». – Minsk, Belarus, 23-25 sentyabrya 2015, S. 98-100.

Annotation

Сборник трудов 11-ой международной конференции ?Взаимодействие излучений с твердым телом?

Keywords

дифракция отраженных электронов, имплантация, кремний

The name of the journal

Сборник трудов 11-ой международной конференции ?Взаимодействие излучений с твердым телом?

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=115947&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
Bazarov.pdf	0,62	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Bazarov Valeriy Vyacheslavovich	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev V F	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin Vladimir Ivanovich	ru_RU
dc.contributor.author	Vorobev Vyacheslav Valerevich	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Базаров В.В. Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Степанов А.Л. Сравнительные наблюдения методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра// Сборник трудов 11-ой международной конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом». – Минск, Беларусь, 23-25 сентября 2015, С. 98-100.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=115947&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Сборник трудов 11-ой международной конференции ?Взаимодействие излучений с твердым телом?	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	дифракция отраженных электронов	ru_RU
dc.subject	имплантация	ru_RU
dc.subject	кремний	ru_RU
dc.title	Сравнительные наблюдения методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра	ru_RU
dc.type	Conference proceedings in international journals and collections	ru_RU