KFU. Card publication. ДИФРАКЦИОННАЯ ПЕРИОДИЧЕСКАЯ МИКРОСТРУКТУРА НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ

KAZAN
FEDERAL UNIVERSITY

- RUS
- 中文
- ES

ДИФРАКЦИОННАЯ ПЕРИОДИЧЕСКАЯ МИКРОСТРУКТУРА НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ

Form of presentation

Russian patents

Year of publication

2015

Язык

русский

Authors, employees of KFU

Osin Yuriy Nikolaevich, author

Stepanov Andrey Lvovich, author

Other authors

Valeev Valeriy Ferdinandovich, author

Galyautdinov Mansur Falyakhutdinovich, author

Nuzhdin Vladimir Ivanovich, author

Bibliographic description in the original language

Pat. 155283 Rossiyskaya Federaciya, MPK G02B 5/18. DIFRAKCIONNAYa PERIODIChESKAYa MIKROSTRUKTURA NA OSNOVE PORISTOGO KREMNIYa/ Stepanov A.L., Nuzhdin V.I., Valeev V.F., Galyautdinov M.F., Osin Yu.N.- № 2015110723/28, zayavl. 25.03.2015, opubl.27.09.15, Byul.№ 27. - 3 s

Keywords

Кремний, дифракционная структура, ионная имплантация.

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=114892&p_lang=2

Resource files

File name	Size (MB)	Format
Patent_2015_155283_Difrakcionnaya_periodicheskaya_mikrostruktura___Poleznaya_model.pdf	0,79	pdf	show / download

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Osin Yuriy Nikolaevich	ru_RU
dc.contributor.author	Stepanov Andrey Lvovich	ru_RU
dc.contributor.author	Valeev Valeriy Ferdinandovich	ru_RU
dc.contributor.author	Galyautdinov Mansur Falyakhutdinovich	ru_RU
dc.contributor.author	Nuzhdin Vladimir Ivanovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2015-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2015	ru_RU
dc.identifier.citation	Пат. 155283 Российская Федерация, МПК G02B 5/18. ДИФРАКЦИОННАЯ ПЕРИОДИЧЕСКАЯ МИКРОСТРУКТУРА НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ/ Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Галяутдинов М.Ф., Осин Ю.Н.- № 2015110723/28, заявл. 25.03.2015, опубл.27.09.15, Бюл.№ 27. - 3 с	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=114892&p_lang=2	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.subject	Кремний	ru_RU
dc.subject	дифракционная структура	ru_RU
dc.subject	ионная имплантация.	ru_RU
dc.title	ДИФРАКЦИОННАЯ ПЕРИОДИЧЕСКАЯ МИКРОСТРУКТУРА НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ	ru_RU
dc.type	Russian patents	ru_RU