KFU. Card publication. Абдуллин И.Ш. Измерение энергии ионов и ионного тока на поверхность образца в ВЧ разряде пониженного давления [Text] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов // Матер. 6-го Рос. семин. 'Соврем. cредства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды'. Москва, 23-24 октября 2008 г. С.80-83.

- RUS
- 中文
- ES

АБДУЛЛИН И.Ш. ИЗМЕРЕНИЕ ЭНЕРГИИ ИОНОВ И ИОННОГО ТОКА НА ПОВЕРХНОСТЬ ОБРАЗЦА В ВЧ РАЗРЯДЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ [TEXT] / И.Ш.АБДУЛЛИН, В.С.ЖЕЛТУХИН, И.Р.САГБИЕВ, М.Ф.ШАЕХОВ // МАТЕР. 6-ГО РОС. СЕМИН. 'СОВРЕМ. CРЕДСТВА ДИАГНОСТИКИ ПЛАЗМЫ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВЕЩЕСТВ И ОКРУЖ. СРЕДЫ'. МОСКВА, 23-24 ОКТЯБРЯ 2008 Г. С.80-83.

Form of presentation

Articles in Russian journals and collections

Year of publication

2008

Authors, employees of KFU

Zheltukhin Viktor Semenovich, author

Bibliographic description in the original language

Abdullin I.Sh. Izmerenie energii ionov i ionnogo toka na poverkhnost obrazca v VCh razryade ponizhennogo davleniya [Text] / I.Sh.Abdullin, V.S.Zheltukhin, I.R.Sagbiev, M.F.Shaekhov // Mater. 6-go Ros. semin. "Sovrem. credstva diagnostiki plazmy i ikh primenenie dlya kontrolya veshhestv i okruzh. sredy". Moskva, 23-24 oktyabrya 2008 g. S.80-83.

Annotation

Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. Средства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды"

Place of publication

Москва

The name of the journal

Please use this ID to quote from or refer to the card

https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=11146&p_lang=2

Full metadata record

Field DC	Value	Language
dc.contributor.author	Zheltukhin Viktor Semenovich	ru_RU
dc.date.accessioned	2008-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.available	2008-01-01T00:00:00Z	ru_RU
dc.date.issued	2008	ru_RU
dc.identifier.citation	Абдуллин И.Ш. Измерение энергии ионов и ионного тока на поверхность образца в ВЧ разряде пониженного давления [Text] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов // Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. cредства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды". Москва, 23-24 октября 2008 г. С.80-83.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://repository.kpfu.ru/eng/?p_id=11146&p_lang=2	ru_RU
dc.description.abstract	Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. Средства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды"	ru_RU
dc.description.abstract	Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. Средства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды"	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.title	Абдуллин И.Ш. Измерение энергии ионов и ионного тока на поверхность образца в ВЧ разряде пониженного давления [Text] / И.Ш.Абдуллин, В.С.Желтухин, И.Р.Сагбиев, М.Ф.Шаехов // Матер. 6-го Рос. семин. "Соврем. cредства диагностики плазмы и их применение для контроля веществ и окруж. среды". Москва, 23-24 октября 2008 г. С.80-83.	ru_RU
dc.type	Articles in Russian journals and collections	ru_RU