Растровый электронный микроскоп XL-30 ESEM (FEI, Нидерланды)

Позволяет получать изображения поверхности объекта с высоким пространственным разрешением (до 20 нм при ускоряющем напряжении 1кВ, до 6 нм при ускоряющем напряжении 30 кВ), а также информацию о его строении, морфологии, фазе. Наличие энергодисперсионного спектрометра позволяет проводить качественно-количественный анализ химического состава приповерхностных слоёв образца.

РЭМ имеет возможность работать в режиме высокого вакуума, низкого вакуума, низкого вакуума в присутствии паров воды.

Просвечивающий электронный микроскоп Tehnai (FEI, Нидерланды)

Позволяет получать электронное изображение ультратонкого образца сверхвысокого разрешения (десятки ангстрем), информацию о его внутренней структуре, в частности:

• определять тип и параметры кристаллической решетки матрицы и фаз;
• определять ориентационные соотношения между фазой и матрицей;
• изучать строение границ зерен;
• определять кристаллографическую ориентацию отдельных зерен, субзерен;
• определять углы разориентировки между зернами, субзернами;
• определять плоскости залегания дефектов кристаллического строения;
• изучать плотность и распределение дислокаций в материалах;
• изучать процессы структурных и фазовых превращений;
• изучать влияние на изучаемую структуру внешних факторов.

Вакуумная напылительная установка BAL-TEC SCD 005 (Micro Surface Engr., Inc. США)

Установка предназначена для нанесения методом катодного и термического напыления сверхтонких покрытий углерода и золота на образцы в условиях среднего и высокого вакуума для получения проводящей поверхности. Напыление золотом необходимо для получения изображений высокого разрешения и правильной работы детекторов сканирующего электронного микроскопа.