Регистрация\НТП-2019 - Казанский (Приволжский) федеральный университет
  Русский| English
ФИО *
Новиков Герман Анатольевич
Организация *
Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, Федеральный исследовательский центр 'Казанский научный центр РАН'
Ученая степень *
без степени
Страна *
Россия
Город *
Казань
Авторы доклада *
Г.А. Новиков
Название доклада *
ПРИМЕНЕНИЕ МОЩНЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ СИЛЬНО ЛЕГИРОВАННЫХ СЛОЁВ ГЕРМАНИЯ
Авторы доклада *
Г.А. Новиков, Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, И.А. Файзрахманов
Название доклада *
ФОРМИРОВАНИЕ СИЛЬНО ЛЕГИРОВАННЫХ МЕТАЛЛАМИ СЛОЁВ КРЕМНИЯ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧНЫМ ИОННЫМ ОБЛУЧЕНИЕМ
Загрузка файлов доклада будет доступна после заполнения поля "Название доклада"
Редактировать
* - отмечены поля обязательные для заполнения