Регистрация\НТП-2019 - Казанский (Приволжский) федеральный университет
  Русский| English
ФИО *
Варакин Виктор Михайлович
Организация *
АО НИИТМ
Ученая степень *
без ученой степени
Страна *
Россия
Город *
Москва,Зеленоград
Авторы доклада *
В.М. Долгополов, В.В. Одиноков, П.А. Иракин, В.М. Варакин, С.В. Моргун.
Название доклада *
Исследование технологии и разработка оборудования для низкотемпературного плазмохимического осаждения диэлектрических слоев с источником высокоплотной плазмы ICPCVD на пластины диаметром до 300 мм.
Загрузка файлов доклада будет доступна после заполнения поля "Название доклада"
Редактировать
* - отмечены поля обязательные для заполнения